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Manifold-32在线监控系统原理
2019-06-13
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  Manifold-32在线监控系统原理

  Manifold-32在线监控系统原理

  Manifold-32顺序在线监控系统对于电子行业来说是一种比较经济的系统方案选择,系统的采样点是按照顺序采样,可以设置采样间隔,对于大区域的多点监测,可以使用单个粒子计数器进行监测。生产企业可在不同的洁净环境级别下进行尘埃粒子在线监控,并可将压差、温湿度、风速、噪音、照度、特殊气体、纯水供应等环境参数纳入本监测系统当中。该系统有采样口数量32个( 既可全部选择使用也可部分选择使用),可与便携式粒子计数器相兼容,仪器的粒径通道可小至100nm。本款仪器可以通过FMS5软件控制,允许用户通过配置和控制系统以满足要求。该系统的示意图如下:
 

  该系统由监测服务器、粒子计数器、Manifold、采样头和真空泵组成。监测服务器将采集的数据进行分析整理,形成相关图表便于企业分析和改善;粒子计数器可选择多款型号,可测颗粒的最小粒径为100nm;Manifold多路监控多达32个点,可根据用户的需求接入对应的采样头,值得注意的是采样头到Manifold的最远距离为38.1m,当距离大于38.1m时会出现采样的粒子衰减情况;真空泵为整套系统提供动力源,可以满足实时的在线监控。

 
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